海生三轴晶圆寻边器HS-Aligner-01
HS-Aligner-01为三轴晶圆寻边器，可实现高速化、高精度、高刚性与高效率的优势；搭载高分辨率相机，可适用于2寸至8寸的晶片，实现快速标定、位置修正，可在2.5s内完成晶圆对准、校准、晶圆中心与角度等补正动作，重复定位精度可达±0.1mm。
- 重复精度： 中心| ＜±0.1mm,Notch角度| ＜ ±0.1°
- 型号： HS-Aligner-01
- 晶圆尺寸： 2寸-8寸
- 晶圆材质： 透明、半透明、不透明
- 机型： 2寸、4寸、6寸、8寸共用型
- 对准时间： 2.5s（最长）
- 晶圆特征： Flat/ Notch (SEMI Standard)
- 晶圆厚度： 0.4-0.8mm
- 运动轴数： 3轴（X/Y/θ）
- 晶圆承载方式： 真空吸盘
- 产品参数
- 重复精度： 中心| ＜±0.1mm,Notch角度| ＜ ±0.1°
- 型号： HS-Aligner-01
- 晶圆尺寸： 2寸-8寸
- 晶圆材质： 透明、半透明、不透明
- 机型： 2寸、4寸、6寸、8寸共用型
- 对准时间： 2.5s（最长）
- 晶圆特征： Flat/ Notch (SEMI Standard)
- 晶圆厚度： 0.4-0.8mm
- 运动轴数： 3轴（X/Y/θ）
- 晶圆承载方式： 真空吸盘
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