碳化硅外延炉设备
所有电气部分TurnKey交付，完成电气硬件选型、配电、接线、系统集成全套工作；自主开发过程控制软件与数据库系统，采用控制器-数据服务器两层结构，实现数据全记录、工艺追溯和数据分析。
- 完成时间： 2023年4月
- 控制结构： 控制器-数据服务器两层结构
- 软件： 自研过程控制软件+数据库系统
- 交付范围： 电气TurnKey交付（选型、配电、接线、系统集成）
- 产品参数
- 完成时间： 2023年4月
- 控制结构： 控制器-数据服务器两层结构
- 软件： 自研过程控制软件+数据库系统
- 交付范围： 电气TurnKey交付（选型、配电、接线、系统集成）
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